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苏伊士Sievers分析仪资料大小
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Sievers* 500 RLe 在线TOC 分析仪的特点介绍,参数和应用。
Sievers* 500 RLe 在线TOC分析仪是半导体工业的在线、无试剂的TOC分析仪,能够准确测定引起问题的化合物,例如尿素、*基胺(TMA)、有机酸与有机碱。
在线总有机碳(TOC,Total Organic Carbon)分析仪应尽可能简单,但是不能简单到,将制造操作暴露在不可预期的风险中,并且存在检测不到的有机中间产物。近,某家*性的半导体液浸式光刻工具生产商已经要求,其光刻工具给水的所有TOC检测要包含准确的超纯水(UPW)中的有机氮化合物的检测。一些品牌的TOC分析仪不能检测到超纯水中普遍存在的有机氮化合物,比如尿素,或*基胺TMA1,2。500RLe能够准确、重复性很好测定这些化合物,满足此项新的TOC性能要求。
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