- 1利欧股份2023年净利润约19.66亿元,园林机械需求不断增加
- 2绝味食品2023年营收、净利同比双增长
- 3苏垦农发2024年一季度净利润同比增长8.55%
- 42023年奥瑞金主营业务保持良好态势,整体利润较上年实现增长
- 5新巨丰专注无菌包装生产,2023年营收、净利双增长
- 6最高94万元!福建省粮食产地烘干能力建设这样补贴!
- 7四方光电拟收购诺普热能57.14%股权和精鼎电器51%股权
- 8林海股份:一季度营收超2亿元,2024年重点推进高速插秧机10行机开发
- 9国电南瑞2023年营收515.73亿元,净利润71.84亿元
氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法
2021-12-30 10:36:05来源:安徽诺益科技有限公司 阅读量:0
导读:
灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
①灵敏度及其校准
氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的*小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于*佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪器参数调整到*佳值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的波动量。
如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时,给出仪器*小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin,能较方便地估计检漏效果。
浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o,则仪器浓度灵敏度。
②反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀*开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。
清除时间是指输出仪表讯号稳定到值后,停止送氦,其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。
③工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。