影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素有哪些？

氦质谱检漏仪用氦气或氢气作为泄漏气体，用气体分析仪检测氦气进行泄漏检。氦的本底噪音低，分子量和粘结系数小，因此容易通过漏孔扩散；此外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷洒在接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检测容器上。如果容器有漏孔，分析仪会有反应，从而知道漏孔的位置和漏气的大小。

影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统和操作人员的技术。螺杆真空泵制造商主要分享离子源质谱分析管污染后的维护方法。当发现检漏仪灵敏度降低，检漏仪工作真空度良好，放大器各级工作电压符合标准要求时，基本可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来自离子源质谱分析管的严重污染。

氦质谱检漏仪检漏时，测量误差的主要来源主要包括八个方面:

首先，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔的位置不同于被检漏孔的位置，即标准漏孔与被检漏孔到检漏仪的距离相差太大，泄漏氦气的损失在途中不同，会导致进入检漏仪的氦量可比性差。

第二，是进入被检漏孔与标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或无法准确给出氦气压力和分压比值，导致无法转换，此时也会产生漏率测量误差。

第三，标准漏孔的标称漏率有误差。

第四，是氦质谱检漏仪输出指示与泄漏率线性关系差。

第五，在校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，标准漏孔的气流特性与被检漏孔不同。

第六，检漏仪性能不稳定；

第七，氦气纯度不稳定或有误差；

第八，之后是检漏操作人员的因素，包括素质、责任感、技术水平和工作经验。

氦质谱检漏仪是以氦为示漏气体的专用检漏仪，具有性能稳定、灵敏度高的特点。它是真空检漏技术中灵敏度高、应用广泛的检漏仪器。